安川MOTOMAN大型FPD潔凈室玻璃基板搬運機(jī)器人NX100/ECS1200DN-L
安川潔凈機(jī)器人NX100/ECS1200DN-L
重量：700kg
有效載荷：30kg
ECS1200DN-1600
YR-ECS200N-B42
NX100/ECS1200DN-L
ERCR-ECS1200DNL-AA10
SERIAL NO.S16B81-1-1
S16B79-2-M
S16B79-1-1
安川MOTOMAN FPD潔凈室玻璃基板搬運機(jī)器人可全面對應(yīng)各代玻璃基板尺寸的高速、高精度、高度柔性動作的需求，大幅度削減配套設(shè)備費用。
安川MOTOMAN FPD潔凈室玻璃基板搬運機(jī)器人主要分為兩大系列，既CSL系列和CR系列。CR系列是垂直多關(guān)節(jié)機(jī)器人，進(jìn)行全姿態(tài)動作運動，CSL系列是水平直線及回轉(zhuǎn)運動型機(jī)器人，高精度高速度。液晶生產(chǎn)線上往往需要同時用到這兩個系列機(jī)器人。
安川MOTOMAN FPD潔凈室玻璃基板搬運機(jī)器人也分為大氣環(huán)境使用機(jī)器人和真空環(huán)境使用機(jī)器人，大氣環(huán)境使用的如MCL165、MFL2200D、MFS2500D，真空環(huán)境使用如VD10S、VD20D、VD35D、VD40D、VD95D。
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